铂金叉指电极电化学光电检测气体生物传感器MEMS
产品一:指间距10微米
1.外形尺寸: 5mm*8mm*0.5mm.
2.线宽: 10um,线距:10um,指长:2.1mm,叉指对数:75(150指).3.电极衬底为石英玻璃,双面抛光,全透明;
4.金属层结构:Ti/Pt,厚度分别为30nm,100nm;5.电极使用温度范围:-150℃~400℃;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器,性能可靠,质量稳定。
产品二:指间距50微米
1.外形尺寸: 5mm*8mm*0.5mm.
2.线宽: 50um,线距: 50um,指长: 2.1mm,叉指对数:20(40指).3.电极衬底为石英玻璃,双面抛光,全透明;
4.金属层结构:Ti/Pt,厚度分别为30nm,100nm;5.电极使用温度范围:-150℃~400℃;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器,性能可靠,质量稳定。
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