2 μm硅基叉指电极气体光学湿度医疗生物传感器芯片MEMS高精度
| 【编号】BK2021012612 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012612 | 【规格】 | ||
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2微米硅基二氧化硅叉指金电极光电检测传感器芯片MEMS高精度
1.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为 300nm ;外形尺寸:5mm*8mm*0.52mm.
2.线宽: 5um，线距: 2um，指长:1.8mm，叉指对数: 100(200指).
3.金属层结构: Cr/Au，厚度分别为30nm，100nm;
4.电极使用温度范围:-150℃~500℃ ;
5.外形尺寸大，焊盘大，操作方便;
6.主要用于各类化学，物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。
7.量大价格从优。
我们提供各种叉指电极。包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化
铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅)，不同工艺(厚膜工艺，DPC 工艺，MEMS 工艺)。
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1.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为 300nm ;外形尺寸:5mm*8mm*0.52mm.
2.线宽: 5um，线距: 2um，指长:1.8mm，叉指对数: 100(200指).
3.金属层结构: Cr/Au，厚度分别为30nm，100nm;
4.电极使用温度范围:-150℃~500℃ ;
5.外形尺寸大，焊盘大，操作方便;
6.主要用于各类化学，物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。
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我们提供各种叉指电极。包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化
铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅)，不同工艺(厚膜工艺，DPC 工艺，MEMS 工艺)。
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